邮 箱cqzhang@xmu.edu.cn
地 址厦门大学亦玄馆202室
PECVD，电子束蒸发台，JC500-3-D磁控溅射镀膜机，JS-3X-100B磁控溅射台，ICP-2B刻蚀机，Dektak 3 测厚仪
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