加工测试平台概述

微电子/石墨烯材料及器件加工测试平台是厦门大学最完备的微纳加工和测试平台，拥有洁净室面积近1200平方米。各种石墨烯、纳米材料加工和测试设备50余套，配有高纯供气系统、18MΩ纯水系统及特气报警装置，实行24小时全方位监控。

依照国外同类实验室的标准，平台于2016年进行了洁净室动力保障系统更新改造。实现不间断送、排风和全年24小时高效运行，以维持高稳定性温度和湿度的洁净环境，保障高精密加工设备的高效使用。同时引进最新型微纳和石墨烯加工设备、仪器，可完成最大芯片尺寸8英寸，最小特征尺寸30纳米的微纳加工，并可实现石墨烯、氧化铪、氮化铝等材料的原子层厚度沉积。截止2016年12月，平台拥有单价50万以上设备18台， 10万元以上50万元以下设备14台，设备总价值超过5000万元。

一、无休开放，高效运行

平台以服务教学科研、培养创新人才为根本，不断完善工艺配套、提高工艺水平，加强系统化建设，提高资源共享效率和服务水平。在校内率先开发启用有自己特色的洁净室工艺预约与结算系统，以“专管共用，资源共享”的原则，实现仪器使用24小时网络信息化，有效提高设备使用效益，使设备使用与收费透明化。用户可通过平台预约系统，预约使用设备机时和查询实验相关数据。

二、分组模式，创新管理

平台目前拥有14名的专职工程师队伍负责洁净间的仪器设备日常使用管理、保养与维护。其中研究生学历以上11名，占比78.6%；副高职称以上4名，占比28.6%；工龄10年以上11名，占比78.6%。实验室仪器设备创新采用分组模式，由4-5名工程师为一组，一主多辅的模式统一协调管理，确保仪器设备可以不间断工作。为提升设备使用效率，用户经工程师培训通过后可独立操作部分设备。

三、资源共享，服务用户

平台近年来承担多项国家级、省部级科研课题，积极为MEMS行业相关企事业单位的发展提供技术支撑与服务，资源开发、共享服务用户超过40余家。平台还针对校内外人员，不定期开展各种先进微纳技术的免费公益性培训，受到广泛好评。

四、严格标准，安全科研

平台制定严格的《贵重仪器设备管理及使用条例》、《事故处理应急机制及安全急救措施》、《贵重仪器预约使用流程》、《工艺间日常管理规章》、《“安全伙伴”政策》、《参观访问报备制度》等相关管理规范，用高标准、严要求保障平台的稳定与安全运行。