为满足学校石墨烯产业研究院和电子科学技术学院（微电子示范学院）的建立和发展对于微纳加工实验室的需求，2015年底学校投入教育部修购基金2010万元进行了亦玄馆一楼百/千级洁净实验室的技术改造，并引进最新型的微纳和石墨烯加工设备、仪器十五台套。经过萨本栋微纳院全体工程技术人员近8个月的紧张工作，2016年7月15日新实验室建设完成开始试运行，9月15日正式运行。并按照国外同类实验室的标准，实现不间断的通、排风和24小时/7天运行，以维持温度、湿度和洁净度高度稳定的实验室环境，保护高精密的加工设备，并提高其使用效率，但同时造成了运行能耗的急剧增加。
为降低运行能耗，萨本栋微纳院的工程师王加钦和李明泼花费大量时间潜心钻研，提出了节能化改造方案并于2016年底完成了系统的软、硬件升级，后期并进行了大量调整、测试工作。该方案在通、排风的风机控制上设置了4档调频，用软件实现智能控制，在晚上、周末和假期等使用量较少时，可以降档运行，在使用量较高时逐渐升档运行，并可以和亦玄馆的预约系统配合使用进行动态调节。经过2个月的测试，该系统运行平稳，在保证实验室环境参数稳定的同时，同比节电33.7%。估计夏季高温潮湿季节，该系统的节能效果将更明显。按亦玄馆每年超过百万的电费统计，该节能化改造每年将节省电费超过30万元。该技术未来可扩展用于学校在建或计划建设的洁净实验室的运行管理上，为学校创造更大的效益。
图1 王加钦和李明泼工程师改造完成的通、排风控制及环境参数反馈模块
在保证实验室环境参数稳定的同时，可以方便地根据使用情况改变运行档位
图2 改造完成的软件控制界面，可实现远程和自动控制
发布：2017年02月13日 17:23
点击量：